精密加工和超精密加工技術的特征及其使用

超精密加工目前尚沒有一致的說法，在不同的歷史時期，不同的科學技能開展水平情況下，有不同的了解。通常咱們把被加工零件的尺度精度和形位精度到達零點幾um，外表粗糙度優于百分之幾um的加工技能稱為超精細加工技術。

超精細加工的重要手法包括

①超精密切削，如超精細金剛石刀具鏡面車削、銷削和銑削等;
②超精密磨削、研磨和拋光;
③超精密微細加工(電子束、離子束、激光束加工以及微硅器材的加工、LIGA技能等)。



超精密加工技能市場是國家尖端技能會集的市場，它既是高代價、高投入的工藝技能，又是高增值、高回報的工藝技能，世界工業先進國家都把它放在國家技能和經濟振興的重要位置。

試舉幾例。
(1)超精密零件加工。例如慣性導航儀器體系中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達軸承等零件的尺度精度、圓度和圓柱度都要求到達亞um級精度;人造衛星儀器軸承是真空無光滑軸承，其孔和軸的外表粗糙度Rα到達1nm，圓度和圓柱度均為納米級精度，這些零件都是用超精細金剛石刀具鏡面車削加工的。精細液壓控制體系中的精細伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級，它是用超精細磨削辦法加工的。

(2)超精密異形零件加工。例如航空高速多辨防滑軸承的內滾道/激光陀螺微晶玻璃腔體，都是用超精細數控磨削加工而成的。陀螺儀框架與渠道是形狀雜亂的高精度零件，是用超精細數控銑床加工的。

(3)超精密光學零件加工。例如激光陀螺的反射鏡的平面度達 0.05μm，外表粉糙度Rα達0.001μm、它是由超精細拋研加工、再進行鍍膜而成，終究要求反射率達99.99%。—些高精度瞄準體系要求小型化，所以用少量非球面鏡來代替雜亂的光學體系。這些非球鏡是用超精細車、磨、研、拋加工而成的。最近，二元光學器材的理論研討進展很大，二元光學器材的制作設備是專用的超精細加工設備。在民用方面，隱形眼鏡便是用超精細數控車床加工而成的。計算機的硬盤、光盤、復印機等高技能產品的許多精細零件都是用超精細加工手法制成的。



(4)超精密機電體系器材加工。微機電體系(ME—MS)是從集成電路制作技能開展起來的新式機電產品，如微小型傳感器、執行器等。硅光刻技能、 LIGA技能和其它微細加工技能的出產設備、檢測設備都是超精細加工的產品。

超精細加工技能的開展及分析

超精細加工技能是以高精度為目標的技能，它有必要歸納使用各種新技能，在各個方面精雕細鏤的條件下，才有可能突破慣例技能達不到的精度界限，到達新的高精度指標。近20年來超精細加工技能在以下幾個方面有很大的進展：
①超精密加工機床技能;
②超精密加工刀具及加工工藝技能;
③超精密加工的丈量與控制技能;
④超精密加工環境控制(包括恒溫、隔熱、潔凈控制等)。
超精密加工機床的規劃與制作技能



展望未來

為了趕快提升我國超精密加工的水平緩才能，應該加強超精細加工技能的研討力度，工廠、高校和研討所應密切合作，針對工業開展過程中的實踐需求，一方面大力推廣多年來咱們在超精密加工技能研討方面取得的成果，另一方面還要繼續加強基礎研討，特別是立異性研討。推動這項技能的蓬勃開展。具體作業中應注重以下幾個方面的作業。
注重世界先進科技的開展，活躍引進和跟蹤高新技能
(1)注重把握先進國家的科技情報，避免低水乎重復。
(2)跟蹤新原理和新工藝的研討。
(3)適當引進先進技能與設備用于研討和開發。
注重全職業安排，以廉價化策略為目標，進行整體規劃
例如，進行超精密機床模塊化虛擬出產的研討與施行，以發揮我國有限的人力物力資源，走投入少產出多的路子。

注重工藝的“固化”作業

我國超精密加工布局渙散，工藝中的know—how是企業、車間，甚至于單個人員的秘密。給工藝“固化”作業帶來很大難度，更談不上工藝常識的同享。如何通過有用的安排建立起同享工藝資源是十分重要的。
支撐以立異為特征的基礎研討
超精密加工是處于前沿和技能極限的一個學科，每一個小的前進都需求有立異。支撐立異研討應成為國家的行為。